TOC 代表水中总有机碳，是超纯水关键控制指标，TOC 突然升高，说明系统引入有机污染物，会直接影响半导体、制药等工艺生产，同时会加速 EDI、抛光树脂污染老化，常见来源分为预处理、反渗透、EDI 及管路、药剂、外界污染几大类。

预处理单元是有机污染的主要入口。原水水质波动，地表水受雨水冲刷带入腐殖质、藻类等天然有机物；活性炭过滤器失效，吸附能力耗尽，原水中大分子有机物直接穿透进入后端系统。多介质过滤器滤料板结、内部滋生微生物，滤层内生物膜脱落，大量有机代谢产物随水流进入反渗透。反渗透系统方面，RO 膜发生微生物污染，膜表面滋生生物膜，菌体及其代谢产物释放有机物，造成产水 TOC 上升。另外，阻垢剂、杀菌剂投加过量或者药剂品质不合格，含有机杂质，药剂穿透 RO 膜，也会抬升 TOC。保安过滤器滤芯老化、滋生细菌，滤芯材质析出有机物同样会造成 TOC 突升。EDI 及抛光树脂环节，EDI 内部树脂被氧化剂氧化降解，树脂破碎溶出有机物质；抛光混床树脂老化、被有机物污染，树脂发生降解析出有机物，直接造成产水 TOC 升高。

管路循环系统也不可忽视，管路死角、盲管产生死水，滋生生物膜，生物膜脱落释放有机物；管路材质老化析出有机物，系统停机时间过长，循环停滞，管内微生物大量繁殖，重启后 TOC 瞬间冲高。另外取样口污染、取样操作不当，也会造成 TOC 检测假性偏高。出现 TOC 突升，应按从原水到终端的顺序分段取样排查，定位污染点位，及时消除有机污染源，保障超纯水水质达标。