超纯水设备的工艺相对复杂，但同时也比较精良，一般的工艺流程包括有从预处理系统到反渗透系统（如果需要用到双级反渗透，这里表达的则是一级反渗透），第三步也是一般是中间的水箱，接着会经过水泵和EDI装置，接下来才会是纯水箱，纯水泵和紫外线杀菌器以及精密过滤器，最后达到用水对象那里，工艺的复杂是为了优质的纯水。

可以广泛应用在太阳能、半导体等工艺用的超纯水和纯水；各电子工业及各种元器件等生产工艺用的都是超纯水；生物医药里边各种符合GMP标准的制剂用水等；生产工艺用纯水的化工工业及常规工业；各电力工业；各种饮用的纯净水场所和饮料食品行业等等，总之，应用领域非常广泛。