超纯水设备根据工业所需电阻率来确定水处理工艺流程，该纯水设备主要采用预处理、反渗透技术、超纯水处理以及后级处理等方法，其水处理工艺流程如下：

超纯水设备原水预处理：

其主要目的在于除原水中含有泥沙，铁锈、胶体物质、悬浮物、色差、异味、生化有机物，其原水预处理系统由石英砂过滤器、活性碳过滤器、全自动软化器、精密过滤器组成。

超纯水设备双级反渗透水处理工艺：:原水——原水加压泵——多介质过滤器——活性碳过滤器——软化器——精密过滤器——一级反渗透——ph调节——中间水箱——二级反渗透——纯水箱——纯水泵——微孔过滤器——用水对象

超纯水设备edi水处理工艺：

原水——原水加压泵——多介质过滤器——活性炭过滤器——软化器——精密过滤器——一级反渗透主机——中间水箱——中间水泵——edi系统——微孔过滤器——用水对象